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直接熱式質量流量計和控制器
 V10FC-R直接熱式流量計
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產品簡介 |
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 V10FC-R直接熱式控制器 |
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產品特點 ● 直接熱式原理，無層流元件 ● 無壓損,抗結晶,抗腐蝕 ● 適用于各種低壓和高壓管道 ● 精確測量和控制氣體的質量流量 ● 預熱時間短,零漂小，可靠性高 ● 多種氣體可選,也可自行輸入 |
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技術指標
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V10FC-RC質量流量控制器
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V10FC-RM質量流量控制器
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量程范圍
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小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～2000SLM
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控制范圍
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控制器20：1
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流量計20：1
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準 確 度
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流量：±3%F.S 壓力：0.5% F.S 溫度：±1℃
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線 性
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±0.5%F.S
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重復精度
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±0.2%F.S
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響應時間
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100ms
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10ms
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數 字 量
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RS232/485，MODBUS協議
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模 擬 量
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0～5V、4～20mA、1～5V
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供電
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12V/24V/±15V可選
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工作溫度
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0～50℃
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工作壓力
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工作壓差：0.03～0.5MPa
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工作壓降：<0.01Mpa
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最大耐壓
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低壓1MPa，中壓3MPa，高壓10MPa
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電氣連接
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DB15孔
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漏 率
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1×10-9SCCSHe
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溫度系數
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±0.015%F.S/℃
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底座材質
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316L
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密封材料
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氟橡膠,氯丁橡膠，丁晴橡膠
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接 頭
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VCR1/4;swagelokφ6
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